В Великом Новгороде впервые прошла международная научно-техническая конференция `Технологические методы изготовления микроэлектронно-механических систем (МЭМС) и приборов на основе сложных полупроводников`.

В город на Волхове приехали представители Физического института имени Лебедева РАН, Московского института электронной техники (МИЭТ), столичного НИИ `Пульсар`, Санкт-Петербургского технического университета, заводов `Микрон` (Зеленоград), `Светлана` (Петербург). Новгородскую микроэлектронику представляли НПО `Планета`, НПО `Планета-Аргалл`, где производят арсенид-галлиевые транзисторы, Институт электронных и информационных систем НовГУ.

Две зарубежные компании - EVGroup (Австрия) и DISCO HI-TEC Europe показали российским инженерам самое современное автоматизированное оборудование для производства и обработки пластин - основы будущих полупроводников. Такое оборудование используют фирмы Toshiba, Infineon (Siemens), Philips.

Организовал конференцию Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет). Столичные ученые рассказали коллегам о своих последних разработках в области микромеханики (МЭМС), что позволило нашим инженерам и научным работникам сойтись во мнении: российская наука находится на мировом уровне, а вот оборудование для производства полупроводников нуждается в обновлении.

Приборы, изготовленные по технологии МЭМС, широко востребованы на мировом рынке и используются в автомобильной промышленности, системах связи и навигации. Уже шесть российских вузов начали обучение по этой специальности. Но используют новые технологии пока только в Японии, США и Европе. Поэтому большой интерес вызвали доклады руководителей EVGroup и DISCO. В частности, наших электронщиков заинтересовала толщина пластины, которую получают на оборудовании DISCO - 30-50 микрон (толщина обычного лезвия - 100 микрон). Пластина эластична, как полиэтилен, гнется, но не повреждается.

- Мы побывали на нескольких российских полупроводниковых заводах, - поделился своими впечатлениями генеральный директор DISCO HI-TEC Europe Карл Привассер, - на которых увидели, как люди старательно работают далеко не на новом оборудовании, которое сами модернизируют для получения качественной продукции.

Российские инженеры высоко оценили оборудование, которое учитывает все нюансы технологического процесса. Умные машины экономят дорогостоящие материалы, установка-робот сама себя очищает.

- Сегодня мы не можем приобрести зарубежное оборудование - оно стоит сотни тысяч долларов, - пояснил исполнительный - технический директор НПО `Планета` Владимир Никитин, - но мы будем сотрудничать с EVGroup и DISCO для того, чтобы улучшить качество наших пластин.